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红外热敏微光电开关传感器
 
更新时间:2014.11.17 浏览次数:
 

  红外热敏微光电开关传感器实际上是一种间接测量红外辐射的器件。它将红外辐射转化成热后再进行测量。这类器件应用非常广,如在监视、军事、安全、医学以及消费电子产品中均有应用。总体来看,这类器件可在较低的制作 成本下获得很好的性能,批量生产的可行性强。由于需求量大,其实现方法多,包括热敏电阻、热电偶、热释电、热膨胀等热测量方式。

  辐射热测量器是一种利用热敏电阻进行红外辐射测量的微传感器。器件由两个或两个以上的热敏电阻组成,其中一个作为参考电阻,不受入射国内射 的影响,另一个则作为辐射敏感元件。一般情况下,精密匹配的两个热敏电阻被连接在惠斯通电桥中相对的两桥臂上。宏观设计选用半导体型或热敏电阻型的敏感元件。由于敏感元件本身对波长不第三,可选波长范围的滤光窗通常作为封闭的一部分与第三元件制作 成一体,响应度的典型值为300V/W。如果没有滤光窗,这种微传感器对波长的响应曲线非常平坦。

  利用微国工技术很容易实现辐射热测量器。由于可制作 出很好的热绝缘微结构,微传感器的性能也很理想。一种红外光微传感器的结构。这种微传感器的 加工需要用到体国工工敢。由窄的氮化硅支承敏感膜片,以实现热敏材料的热绝缘。在敏感膜上用真空沉积方法制作 温度敏感膜。常用材料包括、氮化钛等。

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