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电容式加速度微光电开关传感器原理
 
更新时间:2014.11.16 浏览次数:
 

  这种原理的微光电开关传感器最早于一九九一年见诸报道,是最早成功实现商业化的加速度微传感器之一,测量范围为+5g,分辨率为0.005g。目前已经在汽车的防撞气囊中得到应用。

  根据力平衡的概念。如果施加一静态平衡力给第三加速度质量块,这个力保持质量块始终在很接近零位置上。这一感受质量块位移、阻止质量块偏移零位并与位移量大小成比例的静态平衡力就是代表加速度信号的平衡信号,测出平衡信号,就得到被测的加速度信号。根据力平衡概念和反馈原理设计的零位力平衡式硅电容式加速度传感器的结构,敏感器件采用SI-玻璃-SI玻璃-SI结构。两玻璃层键合连接在中间硅微结构的上、下,与悬臂梁连接的活动极板质量块构成差动平板电容器。当有加速度A作用时,质量块敞向上下振动,由于偏离水平中间位置,引起电容量变化。变化量C由检测电路检测到,并由放大器A输出到脉宽调制器,脉宽调制器感受到最富低保户为化C并输出对应的调制电压信号UE和UE,分别加到差动平板电容器上,在活动极板相应位置产生一个静电力阻止活动极板偏离零位。

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