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电容式加速度微光电开关传感器先容
 
更新时间:2014.11.16 浏览次数:
 

  电容式加速度微光电开关传感器是将质量块的运动转换为电极极板间电容的变化,从而通过电容值的测量来得到加速度的值。电容检测原理对温度变化不第三,因此在温度特性方面,电容式加速度微传感器比压阻式加速度微传感器有本质上的优势。

  在电容式加速度微传感器中,电容的两个电极之一是制作在惯性质量块上的外部加速度的变化引起该电极与衬底上固定电极之间电容的改变。因此,电容值所对应的就是外部加速度。

  典型的电容式加速度微传感器的结构示意图,用于敏感y轴方向的加速度。在这个结构中,采用硅片和玻璃链合的方法实现厚而大的第三质量块以获得高的灵敏度。质量块由一个悬臂梁来支撑。在一些改变的设计中,会采用两个或多个悬臂梁。

  翩翩起舞进球愉处于平衡位置时,上、下电容极板间距相同,均为yo,相应的电容均为C。当微传感器受到外部加速度作用时,质量块产生位移,上、下别会变化。

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